设备名称:OLED大尺面高精密运动台
生产任务:激光切割偏光片、去废设备stage工作台,应用于12-27英寸TFT-LCD显示面板切割
产品特性:
•设备满足X+Y方向的位移运动,可实现X、Y高精度的步进扫描、切割运动;
• X、Y采用高精度直线导轨、花岗岩大理石基座,低摩擦,保证了运动平面度和直线度;
•有铁芯直线电机驱动,大推力,高负载,满动稳定性;
•高分辨率光栅系统作位置反馈。
设备部分实景图
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名称 |
X1轴 |
X2轴 |
Y轴 |
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速度 |
800mm/s |
1000mm/s |
1000mm/s |
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加速度 |
1g |
1g |
1g |
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行程 |
525mm |
795mm |
1550mm |
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重复疋位精度 |
±2μm |
±2μm |
±2μm |
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定位精度 |
±3μm |
±3μm |
±3μm |
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分辨率 |
0.1μm |
0.1μm |
0.1μm |
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直线度 |
±3μm/m |
±3μm/m |
±3μm/m |
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负载 |
30kg |
40 kg |
100kg |
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XY正交 |
±3 μm/m |
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