OLED大尺面高精密运动台
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OLED大尺面高精密运动台

[ 时间:2025-03-25 10:58:12 ]
OLED大尺面高精密运动台
  • 详细信息


设备名称:OLED大尺面高精密运动台

生产任务:激光切割偏光片、去废设备stage工作台,应用于12-27英寸TFT-LCD显示面板切割

产品特性:

•设备满足X+Y方向的位移运动,可实现X、Y高精度的步进扫描、切割运动;
• X、Y采用高精度直线导轨、花岗岩大理石基座,低摩擦,保证了运动平面度和直线度;
•有铁芯直线电机驱动,大推力,高负载,满动稳定性;
•高分辨率光栅系统作位置反馈。

 

设备部分实景图  

技术参数:

名称

X1轴

X2轴

Y轴

速度

800mm/s

1000mm/s

1000mm/s

加速度

1g

1g

1g

行程

525mm

795mm

1550mm

重复疋位精度

±2μm

±2μm

±2μm

定位精度

±3μm

±3μm

±3μm

分辨率

0.1μm

0.1μm

0.1μm

直线度

±3μm/m

±3μm/m

±3μm/m

负载

30kg

40 kg

100kg

XY正交

±3 μm/m

-

 

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